描述
Metricon Model 2010棱镜耦合仪使用先进的光波导技术对电介质及聚合物膜的膜厚和折射率/双折射进行快速及准确 的测量。对于许多薄膜及光波导用途,Model 2010提供了比以椭圆光度法或分光光度法为基础的传统仪器更独特的技术。
优势
Model 2010数据分析软件是完全通用的,兼容Windows XP / Vista / Windows 7,极大地提高了用户友好的控制程序, 和新测量的功能,允许测量从常见到特殊的薄膜而不需依靠内部系数或菜单式校准曲线。
不必预先知晓厚度及折射率
±.0005常规折射率分辨率-尤其在大批量生产时比其他技术更具优势(可获得更高折射率) 完全通用化-没有固定的薄膜/基底合并菜单
可测量双膜结构中的单膜厚度及折射率
体材料或基底材料的高精度折射率测量
快速测量薄膜或漫反射光波导参数(20秒)
技术指标
折射率精度:±0.001 (甚至更高 0.0001-0.0002)
折射率分辨率: ±0.0003(甚 至高于0.00005)
厚度精度:±(0.5%+50Å) 厚度分辨率:±0.3%
折射率测量范围:2.65以下(一些情况可达3.35以下)
操作波长:632.8nm,1310nm,1550nm以及其他可见光/近红外光
允许的基底材料:硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等
软件:windows version 操作软件
输出:计算机显示和打印机输出
特点
中/厚膜膜厚折射率(尤其是光波导)的佳的选择
不需要预先知道膜的厚度
独特的气压耦合方式,不需要加耦合液
测试原理:当光入射到棱镜上,随着旋转台的旋转,入射角就随之发生了变化,在某一个入射角度,光子就会经空气狭缝进入薄膜传 输出来,因此探测器得到的光子能量就会降低,形成凹陷,这叫做泄漏模。第一个模的位置决定了薄膜的折射率,而模间 隔决定了薄膜的厚度。